Ausstatung

IMS_Reinraum_2012_177sm

Fertigungsprozesse (Reinraum)

  • Dreistocköfen, Bedampfungsanlagen, Sputtern, Fotolithographie, LPCVD, PECVD, RTP, Ionenimplantation, Plasma-Ätzen, RIE, Thermopolitur, Vakuum-Temperofen, Restgasanalyse (1800°C)

Elektrische Charakterisierung

  • HP-Admittanzbrücke, DLTS, HF/LF, C-V, C-V-quasi-statisch, 4/2-Spitzenmeßplatz, Parameter-Analyzer HP4156

Optische Charakterisierung

  • Solarsimulator, spektrale Empfindlichkeit, LBIC, CPM, SPV, Transmission, Reflexion, Ulbricht-Kugel
  • Elipsometrie
  • Raman-Spektrometer

Thermische Charakteresierung

  • Meßplatz zur thermischen Leitfähigkeit

Mikroskopie

  • Lichtmikroskope, REM

Molekularstrahl-Epitaxie

  • RIBER Epineat MBE-System

Fokussierte-Ionenstrahlgeräte

  • 4 Implantationssysteme von JEOL, EIKO und Orsay Physics

Schnelle Thermische Ausheilöfen

  • 2 steag-AST Ausheilsysteme

Fotolitografie

  • Quintel Q 4001
  • Süss MJB-3 Mask Aligner
  • Süss M A 4

Photolumineszenz-Meßplatz

  • Anregungsquellen : Laser LED rot, 638 nm / HeCd Laser UV, 325 nm
  • Monochromator : Spex 500M
  • Detektoren : Si-Photodiode, InGaAs-Photodiode, stickstoffgekühlt.

Transportmessungen

  • Klassischer Halleffekt (bei T=1.0 – 300K).
  • Supraleitende Magneten bis zu 16 T.
  • Diverse Strom/Spannungsmeßplätze.

Degradation

  • Thermo-Messplatz
  • Klimakammer