Workshop „Hochintegrierte Mikro- und Nanosysteme“

Das Labor für Halbleiterbauelemente und Bussysteme veranstaltete in Kooperation mit dem Nanotechnologieverbund NRW e.V. und der TU-Dortmund am 07.09.2017 ab 9.00 Uhr an der Otto Hahn Straße 12 in Dortmund einen Workshop zum Thema „Hochintegrierte Mikro- und Nanosysteme“.

Das Programm:

  • 09:00-9:15 Uhr: Begrüßung der Teilnehmer
  • 09:15-10:15 Uhr: Alternativen zur Dotierung in Feldeffekt-Transistoren
    Prof. Dr. rer. nat. Joachim Knoch, RWTH Aachen
  • 10:15 – 11:15 Uhr:The art of getting teams to get it right
    Tor Lund-Larsen, Cyberus Technology GmbH
  • 11:15-11:30 Uhr: Kaffeepause
  • 11:30 – 12:30 Uhr: Innovative Sensorik an ausgewählten Beispielen
    Dr.-Ing. Bernd Burchard, Elmos Semiconductor AG
  • 12:30 – 13:00 Uhr: Herausforderungen zukünftiger Sensorik
    Dr.-Ing. Bernd Burchard
  • 13:00 – 14:00 Uhr: Kaffee-/Mittagspause
  • 14:00 – 15:00 Uhr: Anwendungen mit Elektronenstrahllithografie und Ionenstrahlstrukturierung
    Dr. Michael Kahl, Raith GmbH
  • 15:00 – 16:00 Uhr: Innovative Lab-on-a-Chip- und MEMS-Systeme
    Dr. Heike Kreher, Micronit GmbH

Weitere Informationen finden Sie unter: workshop-flyer_de3